파크시스템스 주가전망

[NH/도현우] 파크시스템스

안녕하세요? NH 도현우입니다.

파크시스템스에 대한 투자의견 Buy를 유지하고 목표주가를 기존 130,000원에서 170,000원으로 상향합니다. 목표주가 상향 근거는 2022년 이후 실적 추정치 상향입니다. 반도체 시장 내 AFM 사용처 확대 및 EUV 마스크 리페어 장비 출하 본격화 등을 실적 추정에 반영했습니다. 업종 내 회사 시장 점유율 및 기술력 등을 감안했을 때 밸류에이션 프리미엄 지속도 가능하다고 판단합니다.

4Q22 실적은 매출액 533억원(+44.3% q-q), 영업이익 185억원(+36.8% q-q), 순이익 89억원(-39.8% q-q)을 기록하며 영업이익이 컨센서스 및 당사 추정치를 상회했습니다. 로직 5nm 이하, DRAM 14nm 이하 공정에서 AFM 관측이 필요한 공정이 확대되며 장비 수주 및 납품이 증가했습니다.

EUV 관련 공정에서 파크시스템스가 수혜를 볼 것으로 예상됩니다. EUV는 소스의 파장이 짧아 ArF보다 같은 단위에서 광자가 14배 적고, Photon Shot Noise, Light Blur 등으로 인해 Stochastics 결함과 LER(Line Etdge Roughness) 증가 등과 같은 문제가 발생합니다. 이러한 문제는 기존 SEM, TEM보다 AFM으로 관측이 유리합니다.

또한, 회사가 개발한 EUV 마스크 리페어 장비 NX-Mask 수주가 활발한 것으로 파악됩니다. 마스크는 패턴에 결함과 파티클이 생기기 쉽습니다. EUV 마스크는 개당 10억원을 호가해 결함이 생긴 제품을 수리해 사용하는 것이 유리합니다. EUV용 포토 마스크는 패턴이 작아서 기존 장비로 수리가 어렵고, 파크시스템스는 원자현미경 기반의 결함 측정과 탐침 기술을 통해 EUV에 적합한 장비를 개발했습니다. 차세대 후공정 하이브리드 본딩에서 AFM 활용이 증가할 것으로 예상되는 점도 모멘텀입니다. 하이브리드 본딩 공정에서 Roughness, Cu 패드 형상 등을 관측하는 용도로도 AFM 활용이 시작되었습니다. TSMC가 하이브리드 본딩을 활용한 3D SoIC 공정 양산을 2022년부터 본격적으로 시작했고, 2023년에 시장 확대가 예상됩니다.

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